SJT 11275-2002 卧式液相外延系统通用规范
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ID： |
686C51AE41504C8191BDFC45FB79E9A5 |
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文件大小(MB)： |
0.12 |
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11 |
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日期： |
2009-6-12 |
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ICS 29.260,L 92,备案号:10995-2002,中华人民共和国电子行业标准,SJ/T 11275-2002,卧式液相外延系统通用规范,Generic specification for horizontal liquid phase,epi tax ia ls yst em,2002-10-30发布2003-03-01实施,中华人民共和国信息产业部发布,SJ/T 11275-2002,目次,前言.，.. . ，.. . ，，. . ， . ，. . ，二， ，，. 1,1 范围 ，.. . “.，.，.. 卜卜.. ，，.. . ，. . ，. . ， . 1,2 规范性引用文件 . ，. . ，. . 1,3 术语和定义.. . ，.. .. . ，二，.. . ，二1,4 产品型号及命名方法.. ，_.. .. . ‘.. 二二，.，.. . ，. . _.，，.，‘2,5 技术要求 .. . 2,6 试验方法 . ， ，，，.. ，. . ，， 、.. ，. ‘二，，， . ，二，.，二3,7 检验规则.， ， . ，.. ， . 6,8 标志、包装、运输、贮存. ，.，.. ‘二‘. ， . ， . . 7,SJ/r 11275--2002,前言,本规 范 是 根据GB/P 1.1-2000《标准化工作导则第1部分:标准的结构和编写规则》.G B/f1 .3,-1997《标准化工作导则第3部分:产品标准编写规定》的要求进行编写的。规范中，通用技术条件,参照了SJ 1794《半导体器件生产用扩散炉通用技术条件》。测试条件、测试设备及仪器、恒温区温度,精度测试、单点稳定性测试，参照了SJ 2065《半导体器件生产用扩散炉测试方法》。安全设计，部分参,照了GB 16754-1997 Q机械安全急停设计原则》。降温速率、降温过程恒温区温度的平坦度等技,术要求，是根据液相外延设备的技术特点制定的,本规 范 由 中国电子技术标准化研究所(CESI) 归口,本规 范 起 草单位:信息产业部电子第四十八研究所,本 规 范 主要起草人:袁章其、刘日喜、王理政、李军阳,SJ/T 11275-2002,3. 6,降温过程恒温区温度的平坦度flatzone smoothness during cooling,恒温区温度降温过程任意一时刻沿恒温区长度方向的温度均匀性,4 产品型号及命名方法,根据 S J/ T3 7-1996《电子工业专用设备型号编制与命名方法》的规定，型号及命名方法如下:,企业代号,产品设计的顺序,温度(以100℃为单位),种，液相外延设备,型，气相淀积及外延设备,类，表面处理和薄膜淀积设备,示例:XX企业所生产的温度为1 100℃的第一代液相外延系统型号为M8611-1/X X.,5 技术要求,5.1 工作条件,5.1.1 环境温度:5`C ^-400C o,5.1.2 大气压强:86 kPa-106 kPao,5.1.3 净化间净化级别:优于10000级,5.1.4 相对湿度:< 70%e,5.1.5 无高频及较强磁场的干扰,5.1.6电源:交流380X (1 士10%)V ;频率:50X(1士1%)Hz .,5.1.7 冷却水:软水;温度180C -260C;水压0.2 MPa-0.4 MPaa,5.1.8 设置散热、排废、热气抽风口,5.1.9 氢气、氮气、氨气、氢气纯度优于99.9999%.,5.2 外观及结构要求,5.2.1 外观要求,a) 设 备 外观应整齐平整，表面不应有明显凸凹不平、划伤、锈蚀等缺陷。适当装饰，色泽协调、,美 观 ;,b) 涂 覆的零部件，应符合SJ2 573的要求;,c) 金 属 镀层及化学处理的零部件，应符合SJ1 276的要求;,d) 紧 固 件连接牢固，无松动现象;,.) 面 板 上的文字、符号和标志清晰准确,5.2.2 结构要求,a) 布 局合理，便于操作、装拆、维修;,b) 配 有散热、排废气接口;,c) 推 舟 机构运转灵活、无卡滞现象;,d) 水冷 装置的进出水畅通，无滴漏现象,SJ/T 11275-2002,6.3 安全试验,6.3.1 漏氮报替保护,氢气 报 普 器设定额定报替值，人为将一定量的氢气引入氢气检测器，设备应发出声、光报普，并自,动切断氢气流及电阻炉加热电源,6.3.2 超温报替,炉温 到 达 温控仪设定的某一温度值之后，人为将温控仪设定值降低50C-10'C，设备应发出声、光,报带并自动切断电阻炉加热电源,6.3.3 断偶报替,电阻 炉 在 工作中，人为断开任意一热偶的引出接线，温控仪、计算机屏上应有相应显示，且操作面,板的相应红灯闪烁报普,6.3.4 断水报价,设备 运 行 过程中，关闭进水阀门，操作面板上指示红灯亮，并自动切断电阻炉加热电源,6.3.5 反应室内过压报普,反应 室 通 气的过程中，人为调动过压报誉开关，使其接通，设备应发出声光报警，供气阀门应截止,供气，泄压阀开启,6.3.6 停水与加热联锁,人为 停 止 供水，电阻加热炉应不工作,6.3.7 反应室漏气与工艺运行联锁,系统 运 行 中，人为使反应室泄漏，计算机工艺程序应暂停，并在该工步等待泄漏报警解除,6.3.8 目测检查尾气处理装置，应符合5.3.3条,6.3.9 设备急停,设备 运 行 中，手动按下红色蘑菇按钮，应符合5.3.4条,6.4 主要性能检测,6.4.1恒温区温度精度检测,a) 测 试 装置连结如图1所示，允许使用经过校准的补偿导线作为热偶冷端的延伸线，热偶冷端为,00C ， 热 偶 工 作 端 的保护套……
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